Nelle fabbriche di semiconduttori, la microcontaminazione è una questione seria che può causare molti problemi. È importante avere soluzioni come prefiltri, filtri HEPA e ULPA, e sistemi per controllare la contaminazione molecolare (AMC) per mantenere l’aria pulita.
La contaminazione molecolare nell'aria può provenire da sostanze chimiche indesiderate, come acidi e basi, che possono danneggiare i wafer di silicio e le macchine utilizzate per la produzione. Con l’aumento delle dimensioni e la miniaturizzazione dei semiconduttori, mantenere l’aria priva di impurità diventa sempre più difficile, perché anche una piccola contaminazione può rovinare l'intero processo produttivo.
È essenziale proteggere le attrezzature e i wafer, utilizzando filtri in ambienti di lavorazione, stoccaggio e durante i processi come la litografia e la metallizzazione. Utilizzare pre-filtri e filtri HEPA e ULPA con un basso rilascio di sostanze chimiche può aiutare a garantire aria pulita e a ridurre il consumo energetico.
Inoltre, sistemi di depolverazione e scrubber possono contribuire a mantenere l'aria pulita e sicura, riducendo il rischio di contaminazione e garantendo che i processi produttivi funzionino senza intoppi.